2008年2月27日 星期三

Lithography

li・thog・ra・phy

━━ n. 石版印刷(術).
lith・o・graph・ic, lith・o・graph・i・cal ━━ a.

lithography
Lithography stone and mirror-image print of a map of Munich.


Wikipedia article "Lithography". 雖然半導體領域特別稱為

Microlithography and nanolithography 或 Main article: Photolithography

不過業界經常簡寫如下


 光刻技術國際學會“SPIE Advanced Lithography 2008”在美國加州聖諾塞市的聖諾塞市會議中心(San JoseConvention Center)拉開了帷幕。會期為2月25日~29日。主辦方表示,參加學會和展會的合計人數估計與往年相同,約為5000人。

  對於此次的SPIE,日本LSI廠商的技術人員認為,“此前的會議談到的大多為假設的未來技術,這次則估計會有很多實際數據公佈。將成為展示 未來光刻技術前景的學會。很讓人期待”。EUV曝光等未來技術分會“Emerging Lithographic Technologies”將在會議召開的第二天開始舉行。除了Selete將介紹EUV曝光技術的開發狀況之外,南韓三星電子還將首次公開適用於快閃記 憶體的奈米壓印成果。(記者:河合 基伸)

■日文原文
【SPIE】参加者は5000人,将来のリソグラフィ技術を議論

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